中科院微電子所、微系統(tǒng)所和半導(dǎo)體所
以研究員為科研主力
中科院和微電子領(lǐng)域關(guān)系最密切的研究所有3個(gè)：微電子所、半導(dǎo)體所和微系統(tǒng)所，這3個(gè)所的師資、資金實(shí)力在國(guó)內(nèi)同行中處于領(lǐng)先水平。
微電子所 核心設(shè)備國(guó)內(nèi)一流
中科院微電子所的核心設(shè)備是一流的，它有一條用于0.8微米IC工藝研究的實(shí)驗(yàn)線，“高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)”為國(guó)家“863”集成電路裝備重大專(zhuān)項(xiàng)；微細(xì)加工與納米技術(shù)實(shí)驗(yàn)室裝備了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS電子束光刻系統(tǒng)，分辨率0.35u的MEBES 4500電子束制版系統(tǒng)以及和微細(xì)加工有關(guān)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、電子束鍍膜系統(tǒng)、光學(xué)制版系統(tǒng)、LPCVD以及JBX-6A2電子束制版系統(tǒng)。在北京地區(qū)，目前惟一能做電子束光刻的科研單位就是微電子所。
該所目前共有7個(gè)研究室，分別為硅器件與集成技術(shù)、專(zhuān)用集成電路與系統(tǒng)、微細(xì)加工與納米技術(shù)、微波器件與集成電路、通訊與多媒體SOC、電子系統(tǒng)技術(shù)和總體電子設(shè)計(jì)平臺(tái)與共性技術(shù)。各個(gè)研究室的研究方向基本涵蓋了器件電路設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的各塊領(lǐng)域，互補(bǔ)而又不沖突，相互之間的師資分配也很合理。
【招生信息】
微電子所2007年計(jì)劃招生43人。據(jù)相關(guān)老師介紹，2008年微電子所要爭(zhēng)取碩士招生人數(shù)達(dá)到60人。
微系統(tǒng)所
兩室五組，科研領(lǐng)域廣
中科院微系統(tǒng)所擁有：傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室與微系統(tǒng)技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(隸屬M(fèi)EMS組)、信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(隸屬材料組)。
微系統(tǒng)所主要有5個(gè)研究組：王躍林教授的MEMS組，下有微系統(tǒng)工藝平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái)，研究方向包括MEMS傳感器和執(zhí)行器技術(shù)研究、光通信微系統(tǒng)研究、生物芯片等；宋志棠的材料組，擁有化合物半導(dǎo)體器件工藝平臺(tái)和納米半導(dǎo)體薄膜材料加工測(cè)試平臺(tái)，主要研究相變存儲(chǔ)器、光電子和微波材料與器件、太赫茲半導(dǎo)體器件和物理；另外3個(gè)組是SOI組、無(wú)線組和能源(電池)組。
除了這5個(gè)主要的研究組外，還有兩個(gè)單獨(dú)的課題組是RF和DNA。微系統(tǒng)所在科研成果的產(chǎn)業(yè)化方面很有特色，在不久前揭曉的國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)評(píng)選中，該所的“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目獲2006年度國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。
微系統(tǒng)所的一個(gè)最大特點(diǎn)在于研究涉及的領(lǐng)域很廣，各個(gè)研究室之間相對(duì)獨(dú)立而又不乏合作。整個(gè)微系統(tǒng)所是一個(gè)很完善的系統(tǒng)，部門(mén)之間又有EDA與網(wǎng)絡(luò)信息中心作為公共支撐。該所給學(xué)生提供的助研金比較多，差不多是其他科研院所的兩倍，甚至其碩士生的助研金比別的單位的博士生都高。
【招生信息】
微系統(tǒng)所每年招生75人左右，其中大部分在微電子與固體電子學(xué)(47人)和通信與信息系統(tǒng)(20人)，畢業(yè)生主要就業(yè)方向是國(guó)內(nèi)外的大公司，如AGILENT、華為等。
半導(dǎo)體所 主要研究物理器件
微電子專(zhuān)業(yè)最初是從半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)中分離出來(lái)的，目前的中科院半導(dǎo)體所依然保留有微電子研究和發(fā)展中心，該中心主要從事同微電子相關(guān)的半導(dǎo)體器件和電路的研究，包括抗輻射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成電路、SiC高溫半導(dǎo)體器件、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、磁存儲(chǔ)器(MRAM)、共振隧穿二極管(RTD)和系統(tǒng)集成芯片(SOC)設(shè)計(jì)及應(yīng)用。可以看出，半導(dǎo)體所的主要優(yōu)勢(shì)在于深厚的物理理論基礎(chǔ)，主要研究領(lǐng)域還是器件方向，擅長(zhǎng)半導(dǎo)體光電子和微電子器件。
半導(dǎo)體所微電子中心每年招收的研究生不多，但畢業(yè)去向都很不錯(cuò)，主要去向?yàn)閲?guó)內(nèi)外知名公司，成為如北京華虹NEC、上海先進(jìn)半導(dǎo)體等公司的IC設(shè)計(jì)部門(mén)的技術(shù)骨干。
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