群雄遂鹿 微電子專業(yè)11所熱門院校特色點評

　　從上世紀90年代后期逐步熱起來的微電子專業(yè)，目前依然熱度不減。各大高校順應微電子產業(yè)的發(fā)展需要，紛紛成立獨立的微電子系和學院，開辦了許多與集成電路產業(yè)關系密切的二級學院(如北京大學的軟件與微電子學院、電子科技大學成都學院等等)。以下將介紹國內數所開設有微電子研招專業(yè)的院校，以及它們的研究方向，供參考。

　　北京大學微電子學系

　　國家大力支持的重點學科點

　　北京大學微電子學系，又稱微電子學研究所(院)，有著源遠流長的學術傳統。1956年，由著名物理學家黃昆院士在北大物理系領導創(chuàng)建了我國第一個半導體專業(yè)機構，之后在我國著名微電子專家王陽元院士的帶領下，北京大學微電子學系發(fā)展成為我國培養(yǎng)高水平微電子人才的一個重要基地，是國家的重點學科點。

　　【硬件環(huán)境】

　　三大重點實驗室國內領先

　　北大微電子學系有著國內一流的科研硬件設施，有微米/納米加工技術國家級重點實驗室、北方微電子研究開發(fā)基地新工藝新器件新結構電路國家計委專項實驗室、北京市軟硬件協同設計高科技實驗室三大重點實驗室，還有MPW(多項目晶圓)中心平臺。

　　【師資科研】

　　科研小組特色明顯

　　北大微電子所下設SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可測性、寬禁帶、納太器件等多個研究小組。所長王陽元院士是中國微電子產業(yè)的奠基人之一，目前出任中芯國際的董事長。

　　SOI研究組的研究領域有SOI技術、納米量級新結構器件及制備工藝技術，以及射頻電路技術。黃如教授是北京市優(yōu)秀教師，目前為IEEE EDS(Electron Device Society)和ADCOM (Administrative Committee)的成員，主要科研方向是SOI，但同時也指導學生進行射頻方面的研究。廖懷林教授專門從事RF電路方面的研究，功底深厚。該研究組掌握了國內科研界最先進的加工技術(流片基本上采用0.13微米工藝)，研究生博士生已有多篇文章發(fā)表在國際高水平刊物上。

　　SOC研究組在敦山教授領導下，擁有北京大學-安捷倫科技SOC測試教育中心和北京大學-安捷倫科技SOC測試工程中心兩大平臺。于老師雖然是研究微處理器，但在系統方面也有很深的造詣。

　　重視工藝是北大微電子所的傳統，所里不少老師是學物理出身的，對于器件工藝十分重視，再加上最先進的微米/納米加工條件，因此該所的微電子器件加工工藝一直保持著國內領先水平。

　　新器件組在劉曉彥、康晉鋒兩位教授的帶領下，主要進行新型半導體器件結構、材料、工藝、模型、模擬等方面的研究。他們成功研制了多種新結構半導體器件，在超精細柵、新型金屬柵和高K柵介質結構、制備工藝、可靠性、高速互聯方面都取得了一系列創(chuàng)新成果。在器件的模型、蒙特卡羅模擬以及新型存儲器方面的研究都堪稱一流。

　　MPW是近兩年新成立的一個研究組，是依托北大微電學研究院的技術力量建立的一個服務于各高校、科研、企業(yè)的平臺，目前由盛世敏教授和張鋼剛教授指導學生開展工作。盛教授是當年王院士的同事，也是北大微電子所的奠基人之一。MPW組的研究生，有從事數電、模電工作的，也有從事ADC、提取參數、建立模型庫方面工作的。

　　MEMS組是目前北大微電子所里規(guī)模最大的一個組，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流體芯片、生物MEMS、NEMS等多個研究方向。北大MEMS組的加工工藝在國內高校領先，組內的李志宏教授、張大成教授等多位老師對工藝有很深的研究。李志宏教授是MEMS研究所所長，在RFMEMS和微流體芯片方面都有研究；閆桂珍教授是國內MEMS陀螺研究方面的權威；張大成教授對微電子IC工藝和MEMS工藝都有豐富的實踐經驗，同時也是微米/納米加工實驗室的負責人。該組的“基于MEMS 技術及應用研究”曾獲得2006年度國家技術發(fā)明二等獎，是北京大學第一次以“第一完成人單位”獲得的國家技術發(fā)明二等獎。

　　【招生信息】

　　北大微電子學專業(yè)2007年招收碩士生105人，其中校本部25人，深圳研究生院80人。從今年開始，沒有達到微電子專業(yè)分數線的考生，只要過了北大研考理學類總分數線的都可以轉報微電子工程碩士，工程碩士招生總人數為100人。

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