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清華大學(xué)微電子所
全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域首個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)
清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月,第一任所長(zhǎng)由全國(guó)著名半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅(jiān)擔(dān)任。該所是國(guó)家重點(diǎn)支持的北方微電子研究開(kāi)發(fā)基地的主要組成單位,是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地,1988年被定為全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域第一個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)。
【硬件環(huán)境】?jī)蓷l集成電路工藝加工線
【師資科研】器件和設(shè)計(jì)實(shí)力最強(qiáng)
清華大學(xué)微電子所主要分器件、工藝、設(shè)計(jì)和CAD四個(gè)研究方向。在這四個(gè)研究領(lǐng)域中,該所器件和設(shè)計(jì)實(shí)力最強(qiáng),研究資金豐厚。
器件方向,主要強(qiáng)在理論,其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理,其特點(diǎn)在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級(jí)器件設(shè)計(jì)與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管,研究方向包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲(chǔ)技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料等。在MEMS研究方面,器件組是國(guó)內(nèi)惟一重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達(dá)的科研單位。
工藝方向,包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù);旌瞎に嚨鹊取F渲械募呻娐烽_(kāi)發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線由劉志弘教授任主任,該組的主要研究方向是:深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲(chǔ)技術(shù)、POWER器件及集成電路,以及集成電路生產(chǎn)自動(dòng)化控制等。
CAD技術(shù)研究室的主任為王燕教授,該組的主要研究方向有:極小尺寸MOS器件輸運(yùn)機(jī)理研究、納米級(jí)量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級(jí)器件的CAD軟件研究、微/納米級(jí)新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫(kù)方法學(xué)研究和用于SOC存儲(chǔ)器類(lèi)的IP核開(kāi)發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計(jì)的電路提取和驗(yàn)證,以及集成電路制造的計(jì)算機(jī)輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
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