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清華大學微電子所
全國微電子學領域首個重點學科點
清華大學微電子學研究所成立于1980年9月,第一任所長由全國著名半導體物理學家、中科院院士李志堅擔任。該所是國家重點支持的北方微電子研究開發(fā)基地的主要組成單位,是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地,1988年被定為全國微電子學領域第一個重點學科點。
【硬件環(huán)境】兩條集成電路工藝加工線
【師資科研】器件和設計實力最強
清華大學微電子所主要分器件、工藝、設計和CAD四個研究方向。在這四個研究領域中,該所器件和設計實力最強,研究資金豐厚。
器件方向,主要強在理論,其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理,其特點在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級器件設計與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管,研究方向包括MEMS、新型半導體存儲技術、納電子與自旋電子學和微納電子技術新材料等。在MEMS研究方面,器件組是國內(nèi)惟一重復出當年的靜電微馬達的科研單位。
工藝方向,包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術以及一些新型的工藝技術如數(shù);旌瞎に嚨鹊取F渲械募呻娐烽_發(fā)與工業(yè)性試驗線由劉志弘教授任主任,該組的主要研究方向是:深亞微米集成電路制造、SiGe技術、非揮發(fā)性存儲技術、POWER器件及集成電路,以及集成電路生產(chǎn)自動化控制等。
CAD技術研究室的主任為王燕教授,該組的主要研究方向有:極小尺寸MOS器件輸運機理研究、納米級量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級器件的CAD軟件研究、微/納米級新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫方法學研究和用于SOC存儲器類的IP核開發(fā)、射頻(RF)電路版圖設計的電路提取和驗證,以及集成電路制造的計算機輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
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